【ZiDongHua 之品牌自定位收录关键词：中国电科  离子注入机  大国重器   半导体  纳米工艺 】
　　
　　中国电科国产离子注入机入选“2023年度央企十大国之重器”
　　
　　1月2日，“2023年度央企十大国之重器”评选结果揭晓，“中国电科实现国产离子注入机28纳米工艺全覆盖”成功入选。
　　
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　　中国电科实现国产离子注入机28纳米工艺全覆盖
　　
　　离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能，这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中，离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。当前，28纳米是芯片应用领域中覆盖面最广的成熟制程。中国电科旗下中电科电子装备集团有限公司连续突破光路、控制、软件等关键模块的核心技术，形成中束流、大束流、高能及第三代半导体等全系列离子注入机产品格局，实现了28纳米工艺制程全覆盖，切实保障国产芯片生产制造。
 
　　
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　　以国产离子注入机为代表的“国之重器”
　　
　　凝聚了中国电科日复一日的锐意进取、攻坚克难
　　
　　2024年中国电科将继续
　　
　　提升自主创新能力
　　
　　不断开辟发展新领域新赛道
　　
　　不断塑造发展新动能新优势
　　
　　为持续推动经济实现质的有效提升和量的合理增长
　　
　　以中国式现代化全面推进强国建设、
　　
　　民族复兴伟业作出新贡献