日本KOFLOC流量计KOFLOC自1949年作为小岛制作所创业以来,约60年间,专门致力于研究开发流体(气体、液体)的 微少流量计测、控制技术。其间,公司的技术由模拟向数码发展,机械走向电动持续发展。 KOFLOC主要生产浮子流量计、流体控制阀、电子式流量计、各种流体控制装置、氮气・氧气・臭氧等气体发生装置,燃料电池装置、除臭装置、水处理装置、医疗器械等。c质量流量计/控制器MFC/MFM等有精度,重复性,反应速度,甚至价格也有要求。它适合半导体,光缆,分析仪器,燃料电池,液晶屏,有机EL,生物工程,食品,环境测试,燃烧气体控制,工程设备,试验设备等各个环节,各个制造过程。他所用的传感器是热式流量传感器,热式质量流量计(以下简称TME)是利用传热原理,即流动中的流体与热源(流体中加热的物体或测量管外加热体)之间热量交换关系来测量流量的仪表。标准 质量流量控制器型号3660系列 型号3660系列质量流量控制器设计精密,成本较低。广泛用于不同的领域,从实验室和研究开发项目到各种分析仪器、真空装置的标准采用机种,发挥了很好的实际效果。各种衍生的型号和附属品可选。 特点□通过采用改良型恒定电流温度差检测方式流量传感器,实现快速回应。□通用的常闭型阀门确保了安全□使用电磁执行器保证了高效的可靠性□低差压类型控制适用于燃烧的气体(LP可选)技术指标F.S.量程(N2换算) 10SCCM-20SLM(30SLM-100SLM)阀门种类 常闭电磁阀控制范围应答性精度重复性 2%-100%F.S.(5%-100%F.S.) 设定±2%F.S.至2秒以内(标准) ±1.5%F.S.以内(±2%F.S.以内) ±0.5%F.S.以内压力 耐压 980kPa 操作差压 F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa;5
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