来源：网络 2012-8-4 关键词：自动化 PSD 微位移传感器 建模　　摘要：为了正确反映基于光电位置敏感器(PSD)的微位移传感器的特性，首先介绍了一维光电位置敏感器的工作原理并分析了利用PSD结合光学三角测量法将位移信号转换成电压信号的工作原理，得出基于PSD的微位移传感器被测试件位移量与相关测量电路输出电压(S，V)关系特征，然后基于最小二乘估计算法基本原理，提出了运用MAT