2009年03月18日 来源：新华网
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- 我国成功研发“零损伤”兆声波半导体清洗设备
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我国成功研发具有自主知识产权的“零损伤”兆声波半导体清洗设备 新华网上海３月１８日电（记者季明）正在上海举行的中国半导体国际展上，盛美半导体设备（上海）有限公司展出了一台十二英寸单片兆声波清洗设备，这也是国内首台具有自主知识
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