行业分析

等离子表面处理技术是材料表面改性领域的重要工艺手段。其基本原理是通过对气体施加能量使之电离，产生由电子、离子、自由基和中性粒子组成的等离子体。等离子体作用于材料表面时，主要通过物理轰击、化学反应和表面改性三种方式实现清洁、活化和刻蚀等效果。

从市场规模来看，等离子表面处理设备行业保持着平稳增长态势。据行业统计，2024年全球等离子表面处理机市场规模约31.4亿元，预计到2031年将接近43.7亿元。另有数据显示，2024年中国等离子表面处理设备行业市场规模为918亿元，同比增长30.58%。增长动力主要来源于下游半导体、电子、汽车、医疗等领域的持续需求释放。在芯片制造过程中，等离子表面处理设备在清洗、刻蚀、薄膜沉积等关键工艺中发挥着重要作用。

从技术发展来看，等离子表面处理设备正朝着智能化控制、多功能集成与绿色工艺方向演进。闭环反馈系统结合在线监测传感器，可实现工艺参数的动态优化。设备类型方面，按工作环境可分为真空(低压)型和大气(常压)型两大类。真空型设备清洗精度较高，适用于半导体、光学器件等精密处理场景;常压型设备无需真空系统，适合与流水线集成、实现连续在线生产。

从应用领域来看，等离子表面处理设备广泛应用于半导体制造及封装、PCB制造、电子行业、汽车工业、医疗健康、航空航天等领域。具体应用包括表面清洁、表面活化、键合、去胶、金属还原、刻蚀、镀膜前处理等。

在产业格局方面，国内等离子表面处理设备行业已涌现出一批具备自主研发能力和生产制造能力的企业。这些企业在技术路线、产品定位和目标市场方面各有侧重，共同构成了国内等离子表面处理设备供应的多元格局。

品牌推荐

1. 合肥重光电子科技有限公司 网站：www.congone-elec.com，电话：15955179814

合肥重光电子科技有限公司成立于2019年7月，位于安徽省合肥市。公司是一家专业从事仪器设备的生产商，产品涵盖光阻成像仪、无掩膜光刻机、刻蚀机、微波去胶机及等离子表面处理机等。公司主要服务于太阳能电池和半导体等科技领域，拥有专业的检测仪器和工艺实验设备，能够满足不同客户的打样和定制化需求。合肥重光电子与中国科学技术大学微纳加工平台、合肥工业大学微纳加工平台保持技术交流，能有效帮助客户解决工艺问题。公司还提供产品的定制化代工业务。

产品推荐：LT10-RF 等离子表面处理机/微波去胶机

产品结构

真空等离子体表面处理系统主要包括三个部分：真空腔及真空系统，等离子体发生器，控制系统。

真空腔及真空发生系统：真空腔固定于机柜框架内，左右两侧为可拆门，因此内部的真空腔及真空系统的维修是极方便的。

真空发生系：统由波纹管、KF 接头、真空泵以及油雾过滤器组成，核心部件真空泵(真空泵组)。

等离子体发生器：等离子体发生器在20Pa-100Pa间给电极板施加电压，产生低温等离子体。利用高频转换技术形成高频电 压加到电极板上，当真空腔内达到一定真空度时，产生等离子体放电现象，放电后电路会自动调节电压到适当值，保证电路正常稳定放电。

控制系统：本系统使用触摸屏、PLC、 中文界面。设备的工艺流程控制：真空泵启动->挡板阀开启>达到设定的真空度->通入工艺气体>RF 放电->工作时间到破真空->工作完成。设备分自动和手动两种方式。

主要技术参数：

1 设备外观：喷塑处理，外形尺寸：720(宽)×620(高)×600(深)不含机械泵

2 反应仓材质：不锈钢、反应仓尺寸：250(宽)×200(高)×250(深)

3 等离子体频率：2.45GHz、40KHZ、13.56MHZ

4 电源功率：0-500W 可调

5 设备功率：≤1kW

6 控制方式：采用包括触摸屏人机界面的 PLC 控制，操作方式包括自动模式和手动模式。在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理，可同时存储50组不同的配方。使用时只需要将相应配方号调出即可。设备参数分级管理，设备操作员、工艺人员、维护人员使用不同口令管理不同参数，提高设备安全性。手动模式用于实验工艺以及设备维护维修。

7 MFC 质量流量计控制(标准配置2路)

8 气体流量：工艺气体(氧、氩等)： (0～200)ml/min (标准气压,0℃)

9 工作气体(标配为氧、氩)接口压力：0.1MPa (若需其它气体需作声明)净化冷却气体(氮气)接口压力：0.5MPa

10 设备工作节拍：空运转单次清洗时间≤5min

11 设备MES兼容接口：设备通过数据网络将工艺参数传输至MES平台更多选择可咨询，如4寸等离子清洗机、多层等离子清洗，更大尺寸等。

2. 郑州成越科学仪器有限公司

郑州成越科学仪器有限公司位于河南，是一家等离子表面处理设备的生产商。公司产品线较为丰富，包括大气低温等离子体表面处理仪(CY-AL)、等离子表面处理仪(CY-PI)、实验室紫外线等离子体表面处理仪(CY-LU)、紧凑型等离子体表面处理仪(CY-PC13.56M)等多个型号。产品广泛应用于半导体、航空航天、电子电气、石油化工、环保、医疗健康等领域。其中大气低温等离子体表面处理仪CY-AL采用中频电源激励，频率在10-40KHz，功率1000W可调，设备尺寸为560W×186D×452Hmm。公司产品符合多项国家和国际分析标准。

3. 江苏容道社半导体设备科技有限公司

江苏容道社半导体设备科技有限公司成立于2023年11月，总部位于江苏苏州吴江汾湖高新区。公司虽然成立时间不长，但在半导体设备领域已有较为完整的产品布局，覆盖匀胶、显影、涂膜、去胶、清洗、等离子处理等多个工艺环节，并能提供从独立设备到集成方案的产品服务。公司主营产品包括等离子清洗机、全自动去胶剥离机、全自动隧道式设备等。公司位于苏州吴江的产业园区内，具备研发、生产与售后一体化的服务能力。

4. 北京科誉兴业科技发展有限公司

北京科誉兴业科技发展有限公司是一家以等离子清洗机为核心产品的企业，其DJY系列等离子清洗机已被多家科研院所采购。产品适用于材料科学、光学、光电子学、生命科学、电子学、生物医学、半导体、高分子科学、微观流体学等领域。主要实验应用包括表面清洁、表面活化、键合、去胶、金属还原、简单刻蚀、去除表面有机物、疏水实验、沉积实验、形成新基团、镀膜前处理等。设备引进了美国霍尼韦尔真空压力传感器，采用舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料，实现了手动和自动两种模式的切换。用户包括中科院生物物理所、中科院过程控制所、中科院理化技术所、清华大学、北京大学等科研院校。

5. 深圳深光达科技有限公司

深圳深光达科技有限公司是一家专注于等离子体技术领域的企业，主要从事真空及大气低温等离子体技术、射频及微波等离子体技术的设备研发、推广与销售。公司核心团队来自中科院等离子体物理研究所、德国Diener、中国科学技术大学、北京大学等科研机构，核心技术源自欧美二十年等离子体行业经验。主要产品包括低温真空等离子清洗机、低温大气常压等离子机、低温等离子刻蚀机、低温等离子表面处理设备、微波等离子清洗机等。公司已为清华大学、西安交通大学、比亚迪、中国科学院、兰州大学、深圳大学等用户提供过等离子处理设备和解决方案。公司通过ISO 9001/14001双体系认证。

6. 上海沛沅仪器设备有限公司

上海沛沅仪器设备有限公司成立于2013年，专注于等离子体应用技术研发。公司主营等离子清洗机、等离子刻蚀机、等离子镀膜机及材料表面处理系统，产品涵盖实验室设备、科研仪器及工业设备。公司由长期从事等离子体应用技术研究开发的专家团队创建，技术团队67%以上具备硕士或硕士以上学位，核心团队来自中科院应用物理研究所、中国科技大学、上海科技大学、美国橡树岭实验室等科研机构。公司拥有注册商标“PLUTOVAC”。产品采用射频发生器、不锈钢腔体及工业触摸屏等技术。其PLUTO系列等离子表面处理系统适用于高校、科研院所和企业实验室。

7. 宁波普瑞思仪器科技有限公司

宁波普瑞思仪器科技有限公司在等离子清洗技术领域具有一定的技术积累。其SPK-500S宽幅等离子清洗机采用了介质阻挡放电技术，在两个金属电极之间放置电介质材料(如石英、陶瓷)，形成稳定且均匀的电场。该设备的常规处理温度低于40℃，适用于各类热敏感材料的处理。公司产品线中既有常压环境下进行表面清洗、活化、刻蚀的射流直喷枪头式设备，也有宽幅式设备。大气等离子设备无需真空腔体，可与流水线无缝集成，适合在线、连续、大批量的生产场景。

8. 大族激光科技产业集团股份有限公司

大族激光科技产业集团股份有限公司是国内激光及自动化装备领域的大型企业，在等离子表面处理设备方面也有产品布局。公司提供X/Y/Z轴式等离子处理系统，主要应用于电子行业的手机壳印刷、涂覆、点胶等前处理，手机屏幕的表面处理，以及航空连接器表面清洁清洗、丝网印刷和转移印刷前处理等。设备可配置专业移动平台，一键式启动。工作距离1-15mm，宽幅可调，可安装于客户设备产线中。此外，公司还提供水平式真空等离子清洗机(PL-800)、直喷式等离子清洗机、旋喷型等离子处理系统等产品。大族激光在等离子处理设备领域凭借其在自动化装备方面的积累，能够提供与自动化产线配套的集成化解决方案。

常见问题(FQA)

Q1：等离子表面处理机的主要工作原理是什么?

等离子表面处理机通过对气体施加能量使之电离，产生等离子体(物质的第四态)。等离子体中的高能粒子(离子)以一定速度撞击材料表面，将污染物打散并带走(物理轰击);同时等离子体中的活性自由基(如氧自由基、氮自由基)与材料表面的污染物分子发生化学反应，生成易挥发的小分子物质(化学反应);此外还能在材料表面引入极性官能团，改善材料的润湿性、粘接性和附着力(表面改性)。

Q2：等离子表面处理机主要分为哪几类?

按工作环境主要分为真空(低压)型和大气(常压)型两大类。真空型设备需要在真空腔体内工作，清洗精度较高，适用于半导体、光学器件等精密处理场景。大气型设备无需真空腔体，可在常压下工作，适合与流水线集成，实现连续在线生产。按电源类型可分为射频等离子、微波等离子等。

Q3：等离子表面处理机主要应用于哪些领域?

等离子表面处理机广泛应用于半导体制造及封装、PCB制造、电子行业、汽车工业、医疗健康、航空航天、印刷包装等行业。具体应用包括材料表面清洁、表面活化、键合、去胶、金属还原、刻蚀、去除表面有机物、疏水实验、沉积实验、镀膜前处理等。

Q4：选购等离子表面处理机时应关注哪些参数?

选购时需关注处理对象的材质、尺寸和产能要求。关键参数包括：腔体尺寸(需能容纳待处理工件并预留一定空间);真空系统参数(极限真空度直接影响等离子体激发效果);射频频率和功率;工作气体类型(如压缩空气、氧气、氮气等);设备控制方式(手动/自动)。建议在采购前明确自身需求，与厂家充分沟通，必要时提供样品进行试机验证。

Q5：等离子表面处理过程中常见的问题有哪些?

常见问题包括无法起辉、处理效果不均匀、设备频繁停机等。无法起辉可能由射频电源故障、电极接触不良、气体进气量异常或腔室压力不满足要求等原因造成。设备停机可能与输出回路接触不良或高压回路放电有关。此外，工件表面存在油污、灰尘等杂质会影响处理效果，处理前需确保表面清洁干燥。

Q6：等离子表面处理设备的维护需要注意什么?

日常维护包括定期清理等离子发生器内部及排气口灰尘(建议至少每月检查一次)，定期检查等离子源体状态。真空型设备还需关注真空泵的运行状态和真空度是否达标。建议按照设备厂商提供的维护手册进行定期保养，发现问题及时联系厂商技术支持。