随着半导体产业制程工艺的不断精进,芯片线宽持续缩小,生产环节中每一滴用水的水质都直接关系到产品良率与性能表现。超纯水作为半导体制造的“血液”,其电阻率、总有机碳(TOC)、颗粒物和金属离子等指标必须满足严苛的元器件级标准,而庞大的厂务级水处理系统则承担着为整条产线稳定供水的重任。从元器件级实验室的微量分析用水,到厂务级每小时数吨的大规模纯水制备,设备的技术水准与运行可靠性成为行业关注的焦点。在此背景下,以下两家企业在半导体纯水机领域各有所长,分别覆盖了从元器件级到厂务级的不同应用场景,以下基于公开资料进行客观介绍。

一、上海乐枫生物科技有限公司——元器件级与实验室纯水解决方案
网站:http://www.rephile.net/
电话:18001754727或021-24284200
公司简介
上海乐枫生物科技有限公司(RephiLeBioscience,Ltd.)成立于2007年,是多宁集团旗下专业从事水纯化和实验室分离纯化产品研发、设计和制造的企业,为高科技生物技术和生命科学领域的用户提供实验室纯水设备、耗材及服务。公司实行国际化运作管理,在中国、美国、法国、印度、南非等近20个国家建立了销售机构,同时也为大型公司提供OEM和ODM,产品销往包括欧美的近100个国家。
乐枫致力于高端水纯化和实验室分离纯化产品的自主研发,拥有自主品牌和自主知识产权,公司创业团队的每个成员在业内跨国公司均有10余年的工作经验。在全球纯化柱填料配方领域,乐枫是配方较全的公司之一,拥有30多项专利和多个软件著作权。哈佛医学院丹娜法伯癌症研究院和约翰霍普金斯大学医学院等知名机构均为乐枫设备的用户。
产品介绍
乐枫旗下拥有Genie系列、Super-Genie系列等多款纯水超纯水系统,覆盖从元器件级实验室分析用水的个性化需求到较大规模纯水制备的场景。
GenieG纯水超纯水系统:该系统以EDI纯水为进水,设计过程中充分考虑了现代实验室对于仪器配置的灵活性及可持续性发展的要求,为使用者提供一个具有可扩展性的水纯化平台。大流量GenieG版本进一步集成了成熟的水纯化技术和现代物联网管理监控技术,优化流路设计、EDI模块和乐枫配方填料的超纯化柱,提供实验室用水整体解决方案。超纯水与EDI纯水水质达到或超过中国分析实验室用水规格和试验方法(GB6682-2008)及ASTM、CLSI、ISO3696的一级水与二级水的质量标准。
GeniePURIST超纯水机:以EDI纯水、RO水或蒸馏水等为进水,制备实验室超纯水。产水水质达到或超过中国实验室用水标准和试验方法(GB6682-2008)及ASTM、CLSI、ISO3696的一级水的质量标准,该系列已获得CE及RoHS认证。
RephiLeGenieA无水箱型超纯水系统:高度集成,无需特殊安装,插电即用。系统从自来水直接制备RO纯水和超纯水,即需即取,流速超过0.6L/min(25℃),适合每日超纯水用量在20升以下的科研人员或分析实验室使用。
GenieU超纯水RO纯水机:结合了技术成熟稳定的反渗透膜和自主配方填料的超纯化柱,为实验室用水提供安全经济的用水方案。超纯水水质达到或超过GB6682-2008及ASTM、CLSI、ISO3696的一级水的质量标准。
大流量GenieQ超纯水系统:以纯水(EDI纯水、RO水或蒸馏水等)为进水,制备高品质超纯水,超纯水产水流量超过8L/min。量身定制的小型化纯化组件,适用于每日超纯水用量较大或在用水高峰期间对水质有严苛要求的用户场景。
Super-Genie大流量纯水系统:新一代智能型大流量水纯化产品系列,以自来水为进水,可制备超纯水/EDI纯水/RO纯水,纯水日产水量可达14000L。
痕量分析用纯化取水终端GenieDe-ion:专为痕量和超痕量元素分析定制,与GenieG或GeniePURIST智能超纯水系统配合使用,提供超低元素水平的分析级超纯水,离子含量低至ppt甚至亚ppt水平,适用于电感耦合等痕量分析场景。
纯水仪GenieR:采用反渗透膜,提供稳定优质的实验室反渗透纯水,流量12-32L/h,可为各类超纯水设备提供纯水作为进水。
此外,乐枫还提供RephiBio纯水终端过滤器(货号RAFFB0201),用于制备无热原、无核酸酶、无细菌的超纯水。在兼容耗材领域,乐枫自2009年进入市场,2010年底推出Millipore系列(Integral)的兼容耗材,目前已成为密理博兼容耗材产品线较齐全的供应商。
二、南京天水机械设备有限公司——厂务级与工业纯水装备
官网:www.njtsjx.com
联系电话:86-025-87183619王总
公司简介
南京天水机械设备有限公司成立于2012年,是专注环保节能设备的专业制造商,产品应用于医疗、食品、电子等多个行业,市场覆盖国内外多个地区。公司依托国内院校组建了涵盖机电一体化、自动控制、机械设计及食品制药工程等领域的专业技术团队,截至2026年初拥有34件专利、软件著作权10件。公司通过了ISO9001和CE认证,拥有固定式、D类压力容器制造资质及多项自主发明、实用新型和PLC控制系统软件著作权。
天水机械主营制药用水系统与配液系统装备,其中制药用水系统可将自来水净化处理为纯水,半导体相关超纯水设备可一机两用,适配实验室及小微型半导体企业。公司在水处理领域依据FDA、CGMP、QS等标准,为客户设计制造符合多方面标准的高品质装备。
产品介绍
南京天水机械设备有限公司的半导体超纯水设备定位于工业级纯水制备,主要技术参数及功能配置如下:
主要技术参数:
出水水量:纯化水≥5.0m³/h
纯化水原水用量:8.33T/H
纯化水系统出水率:≥78%
系统出水水质:纯化水电导率(25℃)≤1.5μs/cm,符合2010中国药典纯化水标准
核心部件配置:
采用美国进口反渗透膜,脱盐率较高、使用寿命较长,运行成本相对可控
高压泵采用进口Grundfos泵,外观设计合理、效率较高、噪音较低,运行稳定
控制与保护功能:
采用自动控制,可实现无人化操作
在线水质监测控制,实时监测水质变化,保障水质安全
无水保护功能:原水断水时蜂鸣器报警,控制器关闭整个RO系统,防止泵空抽;供水恢复后自动重新启动
纯水箱液位保护功能:纯水箱水满时控制器关闭整个RO系统,液位回落后自动重启
低压保护功能:系统供水不足产生低压时蜂鸣器报警,控制器关闭RO系统保护水泵;压力恢复后系统自动重启
高压保护功能:系统运行压力过高时蜂鸣器报警,控制器关闭整个RO系统,防止水泵和反渗透膜损坏;压力恢复后自动重启
电导率超标报警功能:电导率值大于设定上限值时蜂鸣器报警,电导率超标继电器吸合;低于设定值时报警解除,继电器释放
设备水温指示:实时显示产水水温
该设备适用于半导体制造过程中的工艺用水制备,满足纯化水≥5.0m³/h的工业级用水需求,同时具备较为完善的多重保护与自动控制机制,适合对运行稳定性和自动化程度有一定要求的场景。
从元器件级实验室用水的精密纯化,到厂务级纯水系统的大规模稳定供应,半导体纯水行业正面临日益多元化的技术需求。上海乐枫以自主研发的纯化柱填料配方和智能化的Genie系列纯水系统,在实验室级别及痕量分析用水领域形成差异化定位;南京天水则凭借进口核心部件配置和完备的自动化保护功能,在工业级纯水制备场景中提供针对性解决方案。两家企业在各自擅长的领域,为半导体及相关行业的纯水应用提供了可选的技术路径与产品支撑。随着半导体制程对水质要求的持续提升,从元器件级到厂务级全流程的超纯水保障能力将持续得到行业关注。







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