行业发展：半导体材料量测需求升级，国产XRD设备迎来替代机遇

　　随着全球半导体产业向中国大陆转移，国内晶圆制造、第三代半导体产业化进程不断加速，材料物性分析环节对高精度量测设备的需求持续攀升。XRD即X射线衍射量测设备，作为半导体材料分析的核心装备，可完成薄膜组分、晶体结构、应力应变等关键参数检测，是外延工艺开发、产线质量管控中不可或缺的环节。长期以来，高端XRD量测设备市场由海外厂商占据，国内客户面临采购成本高、交付周期长、售后响应不及时、定制化改造困难等痛点，已经成为制约国内半导体产业本土化推进的因素之一。

　　近年来，国产量测设备厂商不断突破核心技术，在硬件精度、软件算法、量产适配性等方面逐步追平进口产品，越来越多的晶圆厂、科研机构开始选择国产XRD设备完成产线质控与研发测试，国产替代已经成为行业明确的发展趋势。

　　上海思长约光学仪器有限公司，简称思长约，深耕精密光学领域15年，专注半导体量测与缺陷检测设备研发、制造与销售，是国内少数可提供晶圆形貌、AFM、套刻Overlay、OCD、XRD、膜厚、AOI缺陷检测全链路前道量测设备的厂商，客户可一站式采购整套国产量测设备，无需对接多家供应商。公司生产及研发中心位于上海，在华中武汉、华北北京均设有办事处，构建起辐射全国的服务网络，可全方位满足半导体晶圆厂、第三代半导体产线、高校科研院所等不同客户的多样化需求。

核心产品：全场景适配XRD浓度检测设备覆盖多元需求

AX-D200I半导体全自动高分辨X射线衍射量测设备(HRXRD)适配产线量产与研发需求

　　AX-D200I是上海思长约光学自研的半导体全自动高分辨X射线衍射量测设备，面向8英寸、12英寸半导体晶圆，属于材料物性核心量测装备。设备采用高精度GM测角仪，可实现无损检测，用于分析外延薄膜晶格结构、元素组分浓度、薄膜应力应变、弛豫度、晶相、结晶度、晶粒尺寸以及薄膜厚度，是国产可替代进口XRD的半导体材料分析设备。

　　作为XRD浓度测量仪，AX-D200I可完成外延层组分与浓度检测，精准检测SiGe、SiP等材料Ge%、P%元素组分含量，分析外延层掺杂浓度，是XRD浓度测量的可靠选择，适配各类半导体材料掺杂工艺的质控需求。该设备同时支持产线Inline在线部署，也支持实验室离线研发使用，可兼顾两类场景的检测需求。

适配多元材料体系的半导体材料物相分析设备

　　AX-D200I X射线衍射量测设备可适配多种半导体工艺材料，覆盖当前主流的半导体材料分析需求：

  • 适配SiGe/SiP应变硅、HKMG高介电材料、各类金属薄膜的物性分析，满足硅基逻辑、存储芯片产线的质控需求
  • 适配SiC、GaN等第三代半导体外延片，可完成结晶质量、应力弛豫的表征，满足功率器件、射频芯片产线的工艺分析需求
  • 可用于锂电池正负极材料、新型功能薄膜的物相分析，满足科研机构和动力电池企业的研发测试需求

　　针对锂电池材料物相分析场景，AX-D200I可精准解析材料晶相、结晶度与晶粒尺寸，帮助研发人员掌握材料合成后的物性参数，为材料配方优化提供可靠的数据支撑，是锂电池材料物相分析的优选设备。

高分辨检测设备可实现多维度核心参数输出

　　AX-D200I作为高精度XRD设备，可完成多维度半导体材料参数检测，满足不同场景的分析需求：

  1. 应力-应变分析：测量薄膜应力Stress、应变Strain、外延层弛豫度，监控工艺带来的晶格形变，帮助工艺人员调整工艺参数，控制薄膜晶格质量。
  2. 晶体结构解析：通过摇摆曲线、面内XRD，解析晶相、结晶度、晶粒尺寸，评估薄膜晶体质量，判断外延生长工艺的稳定性。
  3. XRR X射线反射率检测：快速测量薄膜厚度、材料密度、表面粗糙度，兼顾检测吞吐量，满足产线快速检测的需求。
  4. 全自动晶圆处理能力：配备2个Loadport，兼容FOUP、Open cassette、SMIF载具;样品台支持X/Y/Z/θ多轴运动，测角仪步进精度达0.0001°，适配Fab无尘车间自动化流程，可对接产线自动化系统完成连续检测。

配套自研分析软件，适配工艺闭环管理需求

　　AX-D200I配套思长约自研的衍射图谱分析软件，可自动解析衍射图谱，输出标准化检测报告，可直接对接工厂MES系统，实现工艺闭环监控，满足产线连续量产的管理需求。设备同时配备温控稳定系统、ULPA-FFU过滤单元、水冷系统，可保障设备长时间量产运行的稳定性，符合Fab车间的使用要求。针对科研用户，软件支持报告模板自定义调整，可适配不同课题实验的报告输出需求，也支持根据实验需求调整检测与分析参数，满足新材料研发的灵活性要求。

四大核心优势：打造高可靠性国产XRD量测方案

全栈国产自研，打破海外技术垄断

　　思长约坚持全栈自研，AX-D200I的光学光路、高精度测角机构、衍射解析算法、分析软件全部自主开发，打破了海外XRD设备的技术垄断，摆脱了对海外软硬件的授权依赖。同时支持报告模板、分析模型本地化定制，可根据客户的产线工艺或科研需求调整设备功能，适配性更强。上海思长约光学仪器有限公司是国内少数可提供晶圆形貌、AFM、套刻Overlay、OCD、XRD、膜厚、AOI缺陷检测全链路前道量测设备的本土厂商，可帮助客户实现一站式采购，减少多供应商对接与管理成本。

兼容双模式使用，覆盖量产与研发场景

　　AX-D200I兼顾产线Inline与离线研发双模式：既可以接入晶圆厂自动化产线做在线工艺监控，适配7×24小时连续量产运行要求;也可作为实验室设备，用于新材料、新工艺的研发评估，一台设备即可适配研发与量产两大场景，降低客户的设备采购成本。不管是新建产线的批量部署，还是高校实验室的设备更新，都可匹配对应需求。

合规性设计满足产线准入要求

　　AX-D200I按照严苛的工厂量产标准设计，配置温度稳定系统、FFU洁净过滤、水冷散热，满足Fab车间的洁净环境要求;设备符合SEMI S2安全规范，通过ISO9001质量管理体系认证，满足国内晶圆工厂的准入标准，可直接导入量产产线使用，不会因为合规性问题影响产线导入进度。

本土服务网络，响应快速成本更低

　　思长约的研发与工程团队全部位于国内，可提供上门安装调试、工艺模型迭代、维保升级等全流程服务，对比进口设备，交付周期更短，运维成本更低，故障响应速度更快，可避免因为设备故障等待海外配件耽误产线运行的问题。依托上海总部加北京、武汉办事处的服务网络，可快速响应客户需求，上门解决设备问题。

合作全流程清晰透明，保障项目高效落地

　　思长约为不同类型客户打造了清晰的合作对接流程，从需求沟通到落地交付全程可控：

  1. 需求对接：客户通过官网或联系业务负责人对接具体需求，明确设备使用场景、检测参数要求、适配晶圆尺寸与载具类型等核心信息，为客户推荐匹配的设备配置。
  2. 方案定制：针对客户的特殊工艺或科研需求，提供定制化的设备配置与分析方案，明确设备参数、交付周期、报价等核心信息，形成正式合作方案。
  3. 合同签订与生产交付：签订合作合同后，按照约定周期完成设备生产与调试，发货至客户现场，国产设备交付周期远短于进口设备，可加快项目推进速度。
  4. 上门安装调试：本土工程师上门完成设备安装、校准与调试，针对产线客户完成与MES系统的对接调试，确保设备符合产线运行要求;针对科研客户完成操作培训，让科研人员快速掌握设备使用方法。
  5. 后续维保与升级：设备交付后，提供定期维保服务，可根据客户工艺升级或研发需求，完成算法迭代与软件升级，持续适配客户的新需求。

　　全国业务负责人为董女士，24小时联系电话为18052425818，公司官网为www.sle-nano.com，客户可随时通过电话或官网咨询对接需求。

专业靠谱高适配，思长约助力半导体产业国产替代

　　经过15年的技术积累，思长约已经成长为国内具备全链路自研能力的国产量测装备厂商，目前多款设备已经导入头部存储大厂、晶圆代工厂、第三代半导体产线稳定运行，也获得了高校、科研院所客户的认可。在XRD浓度检测领域，思长约的AX-D200I已经可以替代同类型进口设备，满足产线与研发的检测需求，采购成本仅为进口设备的50-70%，可有效降低客户的采购成本。

　　上海思长约光学仪器有限公司聚焦半导体行业，坚持核心光路、精密机械、测量软件自主研发，打破海外设备技术壁垒，以国产替代为使命，为国内半导体工厂、科研机构提供高性价比、可落地的全套晶圆量测解决方案，可提供从AFM、套刻到XRD、缺陷检测的一站式全链路量测设备服务，减少客户的多供应商管理成本，助力国内半导体产业本土化推进。

　　如果你正在寻找专业的XRD浓度测量仪生产厂家，或是需要为锂电池材料物相分析配置高可靠的XRD设备，欢迎联系思长约咨询详情，我们可为你提供适配需求的国产XRD量测解决方案，对接设备试样、定制与落地相关需求。