一、产品概述

HiPace 400 是德国普发真空（Pfeiffer Vacuum，隶属于 BUSCH 集团）高性能涡轮分子泵，适配科研、镀膜、分析仪器等高真空工况，抽气性能优异、运行稳定、安装灵活，原厂配套配件齐全，可搭配各类前级泵搭建真空机组。

二、核心技术特点

1. 高效抽气性能 优化转子几何结构，气体负载处理能力强，氦气、氢气等轻气体抽速突出，各类气体压缩比表现优秀，兼容多种前级泵，气体通量大，适配大出气工艺。

2. 长效稳定耐用 搭载行业主流混合轴承技术，配套长效专用润滑，大幅延长泵体使用寿命，减少设备维护频次。

3. 安装运行友好 支持任意姿态安装，整机约 11.6kg；4 分钟快速启动，运行噪音低至 50 dBA（EN ISO 2151 标准），车间实验室使用安静无干扰。

4. 通讯与拓展标配 RS-485、远程控制接口，可选配多类现场总线；原厂全套配件可选：电源套件、显示单元、安全阀、放气组件、断电放气装置、减震器、安装支架、各类连接线缆等。

5. 通用标准法兰 进气口 DN100 ISO-K/ISO-F/CF-F；排气 DN25 ISO-KF，预留 G1/4" 辅助接口，适配多种真空密封标准。

三、关键技术参数

1. 各气体抽速

· N₂（氮气）：355 l/s

· Ar（氩气）：320 l/s

· He（氦气）：470 l/s

· H₂（氢气）：445 l/s

2. 极限压缩比

· N₂、Ar：1×10¹¹

· He：3×10⁷

· H₂：4×10⁵

3. 额定转速气体通量

· N₂：6.5 hPa·l/s

· H₂：14 hPa·l/s

· He：20 hPa·l/s

· Ar：3.5 hPa·l/s

4. 工况物理参数

· 氮气前级真空：11 hPa

· 启动加速时间：4 min

· 运行噪音：50 dBA

· 整机重量：约 11.6 kg

· 标准通讯：RS-485、远程控制

· 安装方式：任意角度安装

四、主流应用场景

1. 光学 / 半导体镀膜 PVD、光学镀膜、LED、硬质涂层设备，稳定提供工艺高真空，保障薄膜均匀度。

2. 科研实验室设备 等离子体实验、纳米材料研究、粒子相关实验，轻气体高抽速降低真空本底。

3. 分析检测仪器 各类质谱仪、氦检检漏仪、表面分析设备，提升检测精度。

4. 工业真空加工 真空热处理、电子束焊接、元器件真空封装、腔体检漏等场景。

五、供货与售后保障

北京艾禾真空现货供应普发 HiPace 400 涡轮分子泵，全新整机及配套配件常备库存，交货快；提供原厂标准质保，配套真空方案设计、安装指导、维修保养全流程技术服务。

配套原厂配件清单

电源适配器、供电电缆、通讯连接线、多型号现场总线模块、电源显示单元、安装套件、安全阀、真空放气配件、断电自动放气单元、减震阻尼器等。