迈出集成电路制造辅助设备国产化的第一步--12英寸晶圆倒片机

【迈出集成电路制造辅助设备国产化的第一步--12英寸晶圆倒片机】近日，由北京自动化技术研究院自主研发的首台12英寸晶圆倒片机设备进入中芯国际北京B1进行验证。通过北京自动化技术研究院全体员工的努力和中芯国际的大力支持，截止发稿日期，顺利完成了机台的安装调试工作，实现了sorter的主要功能。