第八届MEMS智能传感器产业生态发展大会开幕
5月31日上午，第八届MEMS智能传感器产业生态发展大会在蚌埠开幕。本次大会以“芯聚江淮 智感世界”为主题，由安徽省科学技术厅、中国兵器工业集团有限公司民品产业部、蚌埠市人民政府、中国微米纳米技术学会、异质异构集成微系统全国重点实验室、临近空间环境特性及效应全国重点实验室联合主办，蚌埠市科学技术局、蚌埠市招商和对外合作中心、蚌埠经济开发区管理委员会、安徽北方微电子研究院集团有限公司、安徽华鑫微纳集成电路有限公司、蚌埠市新闻传媒中心（传媒集团）承办，中国传感器与物联网产业联盟支持。
安徽省人民政府副省长任清华出席会议并宣布大会开幕。中国兵器工业集团副总经理史志荣、中国微米纳米技术学会副理事长王跃林、蚌埠市委书记马军分别致辞；中国科学院院士段树民、中国工程院院士蒋庄德、中国科学院院士毛明、中国工程院院士杨树兴、中国科学院院士刘胜等900余名专家学者和企业家出席会议。
开幕式上，异质异构集成微系统全国重点实验室成功揭牌，并正式发布“MEMS-OCS(光交叉互联芯片)微纳集成工艺体系”“CavPiezo(Cavity-SOI Piezo，空腔型绝缘体上硅基压电MEMS 工艺体系)工艺体系”“SMCD(Surface Micromechanical Capacitive Device:表面微机械电容式器件工艺体系)工艺体系”等三套原创工艺技术和七款产品，破解了微纳领域核心技术瓶颈，搭建了自主可控技术与产业体系。
大会期间，《集成传感与微系统》期刊正式发布，主办单位为安徽北方微电子研究院集团有限公司。该期刊旨在打造高水平的学术交流平台，致力于推动从集成器件、智能传感到微系统集成的全产业链创新融合，汇聚科研智慧，助力关键核心技术突破。期刊聘请中国科学院刘胜院士担任主编，安徽北方微电子研究院集团有限公司陈丙根董事长、东南大学黄庆安教授担任执行主编。中国工程院院士、西安交通大学教授蒋庄德介绍国际国内传感产业发展形势和《集成传感与微系统》期刊创建对中国传感谷建设的重要意义。
大会发布了蚌埠市首轮MEMS工程流片券政策。按照这一政策，企业最高可按其流片费用的50%获得补助，每家企业每年获得的补助总额最高可达500万元，能够进一步降低企业MEMS工程流片成本，助力芯片、器件、模组等关键技术研发与成果转化。
大会还推介了中国传感谷和《支持中国传感谷发展若干政策（2.0版）》，举行了智能传感产业创新创业大赛颁奖活动。总协议金额45.8亿元的20个智能传感项目在会上进行了展示。
中国科学院院士、武汉大学教授刘胜，九三中央科技委副主任、中国传感器与物联网产业联盟常务副理事长郭源生，东南大学教授、国家杰出青年科学基金获得者黄庆安，中国科学院上海微系统与信息技术研究所副总工程师、中国兵器工业集团特聘首席科学家李昕欣作主旨演讲，累计30余位专家、企业家作专题报告。
近年来，安徽北方微电子研究院紧跟省市部署，立足大院大所优势，全力支撑蚌埠智能传感产业发展。深度参与产业政策制定、100亿元产业基金组建及全国首部传感产业条例落地，协同龙头企业构建全链条产业生态。目前蚌埠市集聚相关企业200余家，形成完整产业链，中国传感谷位列全国十大传感器园区第六位。我院将持续强化技术赋能，助力蚌埠打造国内领先的智能传感产业高地。
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