【ZiDongHua 之“半导体产业链”标注关键词: 博视像元 深紫外激光器 半导体产业 北京航空航天大学】
喜报 | 博视像元“半导体深紫外激光光源技术北京市重点实验室”获批,深紫外核心技术再获权威认可
近日,由北京航空航天大学、北京博视像元科技有限公司(以下简称“博视像元”)与中国科学院理化技术研究所联合申报的“半导体深紫外激光光源技术北京市重点实验室”正式获得北京市科学技术委员会,中关村科技园区管委会审批通过。该实验室的获批,标志着北京市对联合团队在266nm和193nm等深紫外前沿技术领域研发实力与创新潜力的高度认可,也是“产学研用”协同攻关关键核心技术的重要里程碑。

深紫外光源,特别是266nm和193nm波段,是半导体制造中晶圆缺陷检测与光刻掩膜板检测的核心技术支撑。博视像元作为全球高端光学影像部件代表企业,将重点承担深紫外激光器的产业化开发任务,推动实验室成果向商业化应用转化。
实验室将充分发挥三方优势:依托北京航空航天大学在光电材料与器件设计方面的理论基础,中科院理化所在深紫外非线性晶体的前沿积累,以及博视像元在深紫外激光器倍频技术、产品化与市场应用方面的产业化能力。实验室将重点攻关全固态深紫外激光器的功率提升、光束质量控制、长期运行稳定性等产业化关键技术,解决从实验室样机到商业化产品的转化瓶颈。
未来,实验室将致力于推动266nm/193nm深紫外激光器在半导体前道晶圆缺陷检测设备、光刻掩膜板检测装备等高端制造领域的规模化应用,为我国半导体装备自主化与产业链安全提供稳定、可靠的深紫外光源解决方案。此次合作将进一步强化博视像元在深紫外技术领域的产业化优势,加速实现高端半导体检测装备的国产替代。
北京博视像元是一家专注于高端光学影像部件研发与制造的科技企业,拥有北京和日本横滨两大研发基地。公司传承日本高端制造的品控理念,建立了世界级水准的产品管控体系,致力于为全球高端制造领域提供核心影像解决方案。
公司拥有完整的产品矩阵,包括真空相机、超高速深紫外TDI相机、深紫外相机、超高速光口相机、高性能CXP相机、纳米至微米级高速3D相机、DLP主动成像系统以及深紫外激光部件等成熟产品线。产品广泛应用于半导体前道工艺设备、前道量检测设备、先进封装设备及封测领域,为行业关键环节提供技术支撑。
凭借卓越的技术实力和可靠的产品质量,博视像元已累计服务全球半导体领域超过60家FAB厂和装备行业龙头企业,客户网络覆盖中国大陆、中国台湾、日本、韩国、新加坡、马来西亚、欧洲及北美等地区。
面向未来,博视像元秉承"聚焦影像部件,主攻卡脖子工程,服务高端制造"的发展理念,致力于成为世界一流的高端光学影像核心部件供应商,携手合作伙伴打造和谐共赢的产业生态,深度赋能全球高端制造业发展。







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