苏州市“AI+制造”典型应用场景丨泓浒AI+晶圆智控真空传输平台
苏州市“AI+制造”
典型应用场景系列宣传
场景
AI+晶圆智控真空传输平台——泓浒（苏州）半导体科技有限公司
一企业简介
泓浒（苏州）半导体科技有限公司成立于2016年，是一家致力于国产化半导体晶圆传输装备及关键零部件研发、生产和销售的高新技术企业，主营业务有晶圆传输设备前端模块（EFEM）、晶圆传片机（Sorter）、真空传输平台（VTM）等，凭借自主研发的智能化驱控、视觉AI以及对半导体机械臂设计的技术创新，实现了晶圆传输装置全国产化替代和量产。
二场景概述
场景聚焦AI+晶圆真空传送平台的应用，通过AI智控赋能晶圆传送机器人系统，打造真空转送平台、精密传输系统模块、机械臂控制系统集成于一体高洁净晶圆传输平台，创新融合多类型混联执行机构、集成化驱动系统与磁流体密封技术，建立高度智能化晶圆传输应用体系。目前在半导体设备前、中、后道工艺均有产品使用。
解决方案：
1.AI主动振动抑制技术构建电机-负载系统模型，该方案突破了传统滞后补偿的局限，通过提前预测与修正异常振动，显著缩短补偿响应时间，保障机械臂在纳米级操作中的运动精度与晶圆安全。
2.AI整机综合误差补偿技术构建"误差识别-分级补偿-鲁棒控制"的闭环控制架构，保证机器手动态跟踪准确性。在误差识别环节，采用双模识别策略，针对几何误差，采用最优测量位姿规划结合自适应抗差估计算法，有效消除了测量过程中的位姿误差和数据粗差影响；通过上述方案实现机器人R轴/Z轴重复定位精度≤±0.05mm，θ轴重复定位精度≤±0.004°，振动≤0.2g。
高精度运动误差补偿
神经网络在线学习直线性控制算法
三应用成效泓浒半导体自主研发的AI+运动控制技术集成于真空晶圆传输平台后，显著提升了设备制造商与芯片制造企业的核心竞争力。该技术通过实现纳米级振动抑制与高精度定位误差补偿，有效降低了晶圆传输过程中的刮蹭、颗粒污染及套刻精度误差风险，为芯片制造产线良率提升提供了关键技术支撑。同时，该项智能化运动控制技术助力设备制造商突破传统机械精度瓶颈，增强解决方案的市场差异化优势，为我国半导体装备产业高质量发展注入新动能。
来源：市工信局人工智能发展处
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