【ZiDongHua 之“半导体产业链”标注关键词： 吉佳蓝 压印设备 MGM】
 
　　出货成功！吉佳蓝纳米级全自动纳米压印设备顺利交付！
 
　　吉佳蓝中国总部项目2台纳米压印设备成功出货！
 
　　近日，吉佳蓝中国总部迎来了具有里程碑意义的时刻——首批次纳米压印设备（CITUS系列）已成功通过客户工艺验证，顺利装箱发货！这标志着吉佳蓝中国已完全具备高端半导体设备的量产及交付能力，从落户到出货跑出了令人瞩目的“加速度”。
 
 
　　MGM压印设备是一个高精度工艺平台。MGM 提供滚压RtoP以及 真空面压PtoP 等多种工艺方案，压印精度<20nm, 残余层控制<10nm,  高准对精度工艺设备，量产性机台同时提供软膜加工以及压印全自动一体化，月产能 30k pcs, 满足高工艺要求的同时符合客户要求的高量产需求。
 
　　→ 匀胶模式 ： 旋涂，喷墨，点涂
 
　　→ 兼容 2~12inch 晶圆 & 300mm*300mm 方片
 
　　→ 对准精度 ±2um 
 
　　→ 双工艺模块，"软膜加工+压印工艺"同步完成
 
　　→ 提供压印代工服务
 
　　吉佳蓝销售总监王琦表示："压印设备的竞争力，不单单在于实现微细图案的层面，更在于能否以足够精密、稳定且具备高生产率的方式执行工艺。将以高精度转印技术、工艺再现性、生产率，以及与压印树脂和模具用树脂相衔接的综合应对能力为基础，进一步强化在下一代光学·半导体工艺市场中的竞争力。"不仅限于设备更有树脂质水、母版、软膜等工艺材料，整体解决方案！
 
　　MGM区别于其他企业的独特优势在于，除了压印设备之外，它还拥有自主开发并供应工艺核心材料——即压印树脂和模具用树脂的能力。纳米压印工艺并非仅靠设备性能就能完成，还需要根据图案形状、脱模特性、固化行为、耐久性、基板适配性等多种变量，同步优化树脂特性。
 
　　→1.25~1.92折射率胶水  （氧化锆，氧化钛粒子，波长 589nm)
 
　　→高刻蚀高选择比胶水 （金属选择比 4：1）
 
　　→超高粘度胶水 （高矢高&大直径 - 透镜专用）
 
　　→50nm级别母版，子模具（PET, TaC 等）等工艺材料提供 MGM能够自主应对这些材料领域，因此其优势在于能够根据客户的结构设计和应用目的，同步协调设备条件和材料物性。这意味着MGM能够提供超越单纯设备供应层面的、针对客户实际工艺进行优化的解决方案。
 
　　尤其值得一提的是，MGM设备设计得即使在大面积基板上也能实现均匀的图案转印，这被视为其差异化亮点。将微细图案的线宽、高度及残留膜厚度偏差最小化的技术，与量产工艺中的良率稳定性直接相关，也是尖端光学零部件及半导体应用领域所必需的性能。加之其具备材料自主开发能力，MGM进一步强化了针对不同客户工艺条件和结构特性的定制化应对能力。
 
　　工艺领域 ：  AR、Lens、WGP、Waveguide、LED、Bio 等多种尖端产业领域。  精通高倾斜角斜齿光栅压印（> 45°），闪耀以及高深宽比垂直光栅（>10 ：1）等。
 
　　MGM设备的竞争力并不仅限于精度。在实际产业现场，除了高分辨率之外，工艺速度、重复稳定性、维护运行效率等生产率方面的要求也同样重要。MGM的压印设备基于均匀的加压控制、稳定的工艺条件维持以及在重复工艺中的高再现性，在确保客户所需的生产率方面也展现出优势。这不仅提升了在研发阶段制作试产样品的价值，也增强了其作为未来可应用于量产的工艺平台的价值。