爱思强
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- 艾迈斯欧司朗与爱思强携手共进|全自动AsP反应器，提供全自动“检测盒到检测盒”晶圆装载以及基于原位蚀刻的清洁机制
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爱思强的新型G10-AsP外延工具经过精心设计，旨在满足这项应用的特殊需求。这项全新工具是世界首款全自动AsP反应器，提供全自动“检测盒到检测盒”晶圆装载以及基于原位蚀刻的清洁机制。该新工具拥有精确的流量和温度控制功能，能在连续运行时保持非常好的材料均匀性。
2023-02-16 11:18:39
