吉佳蓝中国总部启用半年多即出货-DRIE 深硅刻蚀设备

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　　吉佳蓝中国总部项目

　　

　　启用半年多即实现出货

　　

　　跑出了项目建设的加速度！

　　

　　10月13日，吉佳蓝自主研发的首台8英寸电感耦合等离子深硅刻蚀机NeoGEN -MAGMA200D，在经过装配、检验和调试及场内工艺验收后，成功发货，这标志着公司在高端半导体设备制造领域迈出了坚实一步。

　　

　　

　　

　　现场看到，这台8英寸深硅刻蚀设备装入专用木箱后被放置到卡车上，即将出发把产品发给客户。据介绍，这台深硅刻蚀设备具有高深宽比、均匀性优秀、刻蚀速率快、刻蚀角度满足度高、侧壁粗超度优化等特点。

　　

　　吉佳蓝公司成立于2000年，是在韩国上市的半导体设备制造企业，专注于半导体设备的生产研发。公司已经深耕半导体产业25年以上，积累了国内外尖端Fab专用的设备以及工艺量产经验，主要产品包括等离子干法刻蚀机、纳米压印光刻设备等。

　　

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　　吉佳蓝中国总部副总经理王琦介绍：“公司生产4-12英寸干法刻蚀设备，以及纳米压印设备，具备20纳米工艺能力，在中国市场累计销售半导体刻蚀设备已超800余台。为了贴近客户，实现本地化服务，吉佳蓝决定到中国建设半导体刻蚀设备研发制造基地，为高度化的半导体工程提供量身定做的方案，为尖端半导体产业提供新的可能性。”

 

　　今年3月，吉佳蓝中国总部在无锡高新区新港集成电路装备零部件产业园启用。吉佳蓝中国总部建设有100级无尘室、7条Demo产品验证线，将承接吉佳蓝中国半导体设备业务并向全球供货，助推吉佳蓝集团在全球半导体刻蚀设备领域抢占更大市场、把握更大主动。

　　

　　据了解，吉佳蓝在无锡考察了十多个产业园，最终选择落户位于无锡高新区的新港产业园，因为这里的物理空间非常符合研发生产之需，而且区域内产业链齐全，企业所需的测试等配套服务在无锡高新区范围内就可以完成。另外，招商人员不仅是专业招商“多面手”，对企业的服务也很贴心，最终让公司选择落户。公司在短时间内实现发货，与园区良好的营商环境密不可分。

　　

　　吉佳蓝（无锡）科技有限公司是基于拥有25年以上业绩的韩国半导体设备企业GigaLane的技术实力成立的国产化设备制造企业。生产4、6、8、12寸ICP、CCP、深硅刻蚀设备，以及纳米压印设备具备20nm工艺能力，共19条产线，可同时制造（组装区域7条；功能检查12条）。

　　

　　应用在功率芯片，化合物，MEMS（Sensor, Fiter等），光波导，AR/VR，WGP, META Lens, TSV/TGV，逻辑芯片等领域，具备关键的解决方案。不仅局限于设备，更有工艺材料、光刻胶等耗材。企业为高度化的半导体工程提供量身定做的（Costomizing），为尖端半导体产业提供新的可能性。

　　

　　吉佳蓝作为全国唯一一家同时拥有刻蚀以及纳米压印设备生产制造研发的公司，通过不断的创新，其拥有巨大的优势，建立起压印+刻蚀一条龙服务，为客户营造无比便利的Demo环境，提供客户压印+刻蚀一站式全流程服务，得到业内一致好评。吉佳蓝主营业务有4~12 inch ICP 刻蚀设备、4~12inch（兼容300*300方形）纳米压印设备、萃盘式等离子刻蚀设备、纳米压印胶水、纳米压印模板制作等。

　　

　　来源：无锡观察、MGM吉佳蓝