【ZiDongHua 之“会展赛培坛”收录关键词：广东微纳院 智能制造 集成电路 传感器 】
　　
　　秀出“硬核”实力！广东微纳院深圳光博会之旅收获满满
　　
　　2025年9月10日至12日，广东中科半导体微纳制造技术研究院（以下简称“研究院”）精彩亮相第26届中国国际光电博览会（CIOE），携半导体微纳加工平台、半导体材料外延与表征平台以及佛山半导体产业园整体亮相，与数千家科研院所、高校及产业链重点企业共聚深圳，共探光电技术前沿与发展机遇。
　　
　　研究院是立足于佛山、服务粤港澳大湾区的省级高水平创新研究院，聚焦MEMS智能传感、新型显示与光电探测、功率电子与5G通信等领域，致力于打造集研发中试、企业孵化、人才培养于一体的协同创新平台。
　　
　　展示核心工艺实力平台服务赋能产业创新展会期间，研究院集中展示了半导体微纳加工平台与半导体材料外延与表征平台的核心技术能力。微纳加工平台重点推介了DUV光刻工艺、深硅刻蚀工艺等芯片制造全流程特色工艺，并现场展出磁性传感器、微流道芯片等多件晶圆样品。材料外延与表征平台则系统展示了平台设备配置与外延工艺实力，展出包括蓝宝石基绿光LED外延片、硅基HEMT功率器件外延片、蓝宝石基UVA外延片等多个代表性外延片，充分体现了研究院在化合物半导体材料领域的核心技术与服务能力。
 
　　
　　微纳加工晶圆及材料外延片。
　　
　　现场，多场论坛同期举行。在2025全球精密光学智能制造论坛——超精微/纳米光学制造技术论坛，研究院代表作《MicroLED制造技术发展概述：8吋共享平台，赋能新型显示产业发展》主题报告，聚焦“从研发攻坚到中试量产的开放平台”建设，阐述如何通过产学研协同创新，整合设备、工艺与材料资源，实现MicroLED技术工程化落地。平台将开放全流程工艺模块，为AR/VR、车载显示等领域提供低成本、高效率的中试代工服务，加速技术从实验室到量产的转化，助力智能显示产业升级。
　　
　　打造一体化产业生态园区配套加速企业成长
　　
　　以芯片公共平台为技术支撑，佛山半导体产业园为企业提供从创新研发、小试中试到产业化的全链条发展空间。园区拥有超净厂房3.2万平方米，达千级洁净标准，配备完善的厂务设施、专业运维团队与相关资质，并集成办公孵化功能，打造“上下楼即上下游”的一站式产业生态，提升企业协同与创新效率。
　　
　　研究院展台获得多方关注。
　　
　　展会期间，研究院累计与逾30家企业及院所进行深度对接，覆盖光学器件、智能传感器、第三代半导体等关键领域，并为超过100家客户提供工艺合作、平台服务、场地入驻等专业咨询，力争取得实质性进展。
　　
　　未来，研究院将继续夯实技术根基，推动工艺创新与服务升级，进一步推动佛山半导体产业的高质量集聚，提升区域影响力，助力广东打造集成电路第三极。