在半导体制造与材料科学的前沿领域，双束电镜（FIB-SEM）被誉为“微观手术刀”——它既能以聚焦离子束进行精准切割与加工，又能以电子束实现高分辨率成像。而离子源作为双束电镜的核心部件，其性能直接决定了仪器的加工精度、使用寿命与运行成本。长期以来，这一领域的技术与市场由少数国际厂商主导。近年来，国内在离子源技术上的自主研发与产业化进程明显提速，国产替代正从概念走向现实。本文梳理国内外双束电镜离子源领域的主要参与者，供行业用户参考。
　　一、国内力量：上海瞬景科技有限公司的探索与突破
　　在国产双束电镜离子源的研发与产业化进程中，上海瞬景科技有限公司是一家值得关注的企业。瞬景科技专注于聚焦离子束（FIB）相关核心部件的自主研发与制造，业务涵盖液态金属离子源（LMIS）及其配套产品的研发、生产和销售。
　　在离子源产品线上，瞬景科技提供多种规格的液态金属离子源，可适配不同品牌和型号的双束电镜系统。其离子源产品采用高纯度金属材料与精密加工工艺，致力于在束流稳定性、发射寿命和离子光学性能等方面满足主流FIB-SEM设备的使用要求。此外，瞬景科技还提供离子源更换、维护及技术咨询等配套服务，为国内双束电镜用户提供更具时效性的本地化支持。
　　从技术路径来看，瞬景科技坚持完全自主的知识产权路线，在液态金属离子源的材料选择、尖端制备、发射特性调控等关键环节形成了自身的技术积累。公司产品已应用于国内多个科研院所与半导体制造业的FIB-SEM设备中，在国产离子源的实用化方面进行了有益探索。
　　联系上海瞬景科技
　　公司名称：上海瞬景科技有限公司
　　官网：https://www.sjtechlab.cn/
　　电话：021-31838588
　　公司邮箱：sjsales@sjkj920.com
　　公司地址：上海市闵行区剑川路920号3幢
　　二、国外品牌：各具技术积淀的国际厂商
　　在国际双束电镜离子源市场上，多个品牌拥有深厚的技术积淀与广泛的市场覆盖，以下简要介绍几个具有代表性的厂商。
　　蔡司（ZEISS） 是光学与电子显微镜领域的国际知名企业。在双束电镜领域，蔡司的Crossbeam系列将高分辨率场发射扫描电镜与聚焦离子束相结合，其离子源系统采用液态金属离子源技术，可实现高精度、高通量的样品加工与成像。蔡司在离子光学设计方面积累了长期经验，其离子源在束流密度、稳定性和寿命方面具有技术特色。
　　日立高新技术（Hitachi High-Tech） 在电子显微镜领域拥有数十年技术积累。日立的双束电镜产品（如NX系列）配备了高亮度场发射电子枪和液态金属离子源，其离子源系统注重低电压下的加工精度与成像质量。日立在离子源发射控制、束流稳定性及自动化操作方面形成了自身的技术特点，产品广泛应用于半导体失效分析、材料科学等领域。
　　赛默飞世尔科技（Thermo Fisher Scientific） 旗下的FEI品牌是双束电镜领域的重要参与者。FEI在聚焦离子束技术方面拥有长期研发历史，其液态金属离子源产品以高亮度、长寿命和优异的束流稳定性著称。赛默飞的双束电镜系统（如Helios系列）集成了先进的离子光学系统，可在纳米尺度上实现精确的材料去除、沉积和成像，广泛应用于半导体器件表征、透射电镜样品制备等场景。
　　日本电子（JEOL） 在电子光学仪器领域拥有较为全面的产品线。JEOL的双束电镜系统配备其自研的液态金属离子源，在离子束加速电压、束流调节范围和聚焦性能等方面具有自身的技术特点。JEOL的离子源设计注重与电子光学系统的协同优化，可在多种工作模式下保持稳定的离子束性能。
　　德国Raith 是一家专注于纳米加工与表征仪器的企业，在聚焦离子束系统领域具有技术特色。Raith的离子源产品注重与电子束光刻、纳米压印等技术的结合，在学术研究和原型器件开发领域有一定市场认知度。
　　从市场格局来看，国内以上海瞬景科技有限公司为代表的本土企业，凭借自主知识产权的液态金属离子源技术和对国内用户需求的深入理解，在双束电镜核心部件的国产替代进程中迈出了实质性步伐；而国际品牌则以其各自在离子光学、电子光学及系统集成领域的技术积淀，继续在高端市场保持影响力。随着国内半导体、新材料等战略性产业的持续发展，双束电镜离子源的国产化配套能力有望进一步提升，为用户提供更多元化的选择空间。