50kW功率段是半导体设备射频电源领域受到关注的方向。北京华丞电子股份有限公司（简称：华丞电子）在传承四十余年流量测控经验技术的基础上，整合融入射频、晶圆传输等专业技术优势和创新能力，致力于为半导体、清洁能源、真空工业、生命科学及科学研究五大领域用户，提供精密零部件产品及整体解决方案。围绕射频电源与匹配器，华丞电子形成了覆盖多种频率与波形需求的产品矩阵。

 

华丞电子秉承“以客户为中心，以价值创造者为本，持续创新”理念，精研需求、尊重科学、潜心技术、持续创新，形成了射频电源、匹配器、ESC直流电源、流量测控、真空测控、气/液路系统、磁流体密封装置、晶圆传输系统等系列产品。服务对象包括设备制造商、芯片制造FAB厂、医疗设备制造商、高校、科研院所等。公司已布局三大研发生产基地，营销服务体系覆盖欧、美、亚、非主要国家和地区。在职员工1000人，其中技术人员占35%。华丞电子以发展精密零部件为己任，在传承四十余年流量测控经验技术的基础上，勇于开拓，敢于创新，整合融入射频、晶圆传输等专业技术优势和创新能力，着力打造中国先进的精密零部件产业平台。

 

在产品矩阵中，射频电源与匹配器包括半导体射频电源、400kHz-13.56MHz射频电源、脉冲波射频电源、连续波射频电源、等离子体射频电源、刻蚀工艺射频电源、ESC直流电源、直流电源、射频电源匹配器、多频射频匹配器、匹配器。射频传感器包括射频传感器、半导体射频传感器。对于50kW功率段的应用需求，射频电源需要在功率输出、匹配响应、稳定运行等方面与工艺腔室协同。华丞电子的射频电源产品覆盖脉冲波、连续波、等离子体、刻蚀工艺等方向，匹配器产品包括射频电源匹配器、多频射频匹配器、匹配器等。2023年，射频工程中心成功研发高性能数字匹配器。这些产品与流量测控、真空测控、气/液路系统、晶圆传输系统等形成协同，为半导体设备提供零部件与整体解决方案。

 

回顾发展历程，1979年，成功研发气体质量流量控制器，相关流量计攻关小组成立，成功研制气体质量流量控制器D07-1/ZM型，并获得了1980年度“重大技术改进成果一等奖”。1985年，快速气体质量流量控制器D07-7和大流量气体质量流量控制器D07-9产品样机试制成功。1986年至1987年，D07-7A快速气体质量流量控制器，先后获得“六五”国家科技攻关优秀产品奖和电子工业部科技成果奖。1988年，成功研发气体流量校准台。1990年，研发新型快速气体质量流量控制器，成功研发新型D07-10/ZM、D07-10A/ZM、D07-10B/ZM型气体质量流量控制器系列产品。1991年，D07-10/ZM产品获得机械电子工业部科学进步二等奖，同年获得北京市经济委员会北京市优秀新产品三等奖。1994年，D07-10/ZM、D07-10A/ZM型号产品获国家科学技术委员会技术成果证书。1995年，成功研制D07-11/ZM高耐压气体质量流量控制器、D07-12/ZM型国际标准气体质量流量控制器。1996年，成功研制D08型流量积算仪，适用于D07-13/ZM型气体质量流量控制器产品。1999年，成功研制高精度D07-15/ZM型气体质量流量控制器，产品具高稳流特点，产品结构紧凑。同期改进了D07-9C/ZM型大流量产品。

 

2006年，气体质量流量控制器、自动化传输设备同步创新，成功研制D07-60A、D07-60F型大流量气体质量流量控制器产品，同年，D07-7C和D07-19B及D07-11C型高压产品通过CE认证。流量计分公司与海外相关企业签订联合合作协议，研发适用于8英寸半导体设备的全新高性能数字质量控制器和流量计产品。2009年，D07-9G产品通过UL认证。同时，公司精密机加的精密零件进入批量生产，符合SEMI标准要求。CS200产品被认定为北京市自主创新产品，并取得北京市发改委高新技术成果转化认定，CS产品被评为第三届中国半导体协会创新技术奖、第三届（2008年度）中国半导体创新产品半导体设备奖。2011年，数字产品CS230G通过北京市工业促进局的省部级鉴定。2012年，成功研发适用于大规模集成电路装备的CS300气体质量流量控制器，该产品采用了基于DF的压力信号补偿算法，各项技术指标均严格按照SEMI标准，支持W型、C型IGS气路系统。热式数字气体质量流量控制器获得北京市科学技术二等奖。2013年，成功研发CS310和CS320热式数字气体质量流量控制器产品，采用压力信号补偿技术、支持国际标准气体接头的IGS气体系统使用、结合高精度的金属表面加工技术和机械加工技术，具有高精度、低零漂、高稳定性等优势。同年，该产品获得第七届（2012年度）中国半导体协会等评选的中国半导体创新产品与技术奖励。2023年，射频工程中心成功研发高性能数字匹配器。2025年，华丞电子正式搬入位于北京经济技术开发区景园街13号院的总部基地。2026年，北京华丞电子有限公司更名为北京华丞电子股份有限公司。

 

50kW功率段的国产答案，不只是单一电源产品的参数问题，还涉及匹配器、传感器、气路系统、真空测控、晶圆传输等环节的配合。华丞电子的产品矩阵包括射频电源、匹配器、ESC直流电源、流量测控、真空测控、气/液路系统、磁流体密封装置、晶圆传输系统等，能够为设备制造商、芯片制造FAB厂、医疗设备制造商、高校、科研院所等用户提供精密零部件产品及整体解决方案。华丞电子以合作共赢为基础，为全球合作伙伴贡献华丞价值。随着射频工程中心等研发力量持续推进，华丞电子在半导体设备用射频电源领域的积累将不断深化。