摘要：深圳永洁净化完成广州盈惠兴科技股份有限公司 13200㎡多层高层 AI 芯片洁净实验室 EPC 总包项目，打造千级（ISO6）核心测试区、万级（ISO7）辅助研发区分级洁净空间。项目落地多层垂直单向层流、±0.3℃全域精密恒温、高纯惰性气体供给、智慧化洁净运维成套特种系统，解决高层厂房气流涡流、芯片测试环境扰动、多系统孤岛运维等行业痛点，成为珠三角高层半导体研发洁净实验室标杆工程。

1、项目背景与客户概况

广州盈惠兴科技股份有限公司聚焦 AI 算力芯片流片、芯片性能验证、半导体前沿研发业务，可同步开展大模型算力芯片、存储芯片、专用 AI 芯片多品类测试实验，属于大湾区半导体研发赛道核心企业。

半导体 AI 芯片流片与性能测试属于微米‑纳米级超精密实验工况，环境微小扰动即可造成研发数据失真，项目建设面临四大原生行业痛点：

• 高层厂房采用常规水平乱流气流组织，极易形成气流涡流，局部粒子堆积，直接引发芯片测试数据偏差；

• AI 芯片硅基器件对温度变化高度敏感，普通洁净车间 ±1℃控温精度无法满足流片测试严苛实验条件；

• 高纯惰性气体、防静电接地、粒子温湿度压差监测多套系统各自独立，系统孤岛问题突出，运维繁琐，参数无法实现联动调控；

• 珠三角区域高湿气候环境，极易诱发静电蓄积、温湿度波动，多品类芯片兼容测试的环境管控难度进一步放大。

因此本项目不能套用普通电子洁净车间建设范式，需要面向半导体研发场景做专项特种系统定制，兼顾高层空间工况、超高精密温控、特种工艺介质供给、智能化运维四大维度。

2、项目基础交付范围

本项目总洁净建筑面积 13200㎡，为多层高层洁净实验室，采用一站式 EPC 总承包交付模式，业务覆盖前期规划工艺规划、洁净专项设计、净化围护与机电施工、特种工艺系统集成、系统验证、智慧运维平台搭建全链条闭环交付。

洁净空间采用分级管控设计，按需匹配研发制程环境阈值：

• 千级（ISO6）核心测试区：面向 AI 芯片流片、探针测试、精密器件验证等高敏感实验工序；

• 万级（ISO7）辅助研发区：用于样品预处理、物料存储、常规实验分析、半成品周转等辅助研发工序。

完整 EPC 交付清单包含：

1. 多层高层洁净动线规划、梯度压差分区设计、气流组织专项仿真；

2. 洁净围护气密施工、防静电环氧自流平地坪、等电位接地网格施工；

3. 多层垂直单向层流系统搭建，FFU、HEPA/ULPA 过滤系统成套安装；

4. ±0.3℃精密恒温恒湿暖通系统，分区独立循环风柜布设；

5. 高纯惰性气体供给管路系统，双路供气、泄漏报警系统集成；

6. 24 小时在线洁净监测平台、智能化远程洁净运维管控系统部署；

7. 第三方洁净验证、性能调试、项目竣工验收交付。

3、五大核心专项集成解决方案

针对高层半导体研发实验室多维度工况难点，深圳永洁净化落地五大成套专项集成方案，实现多系统协同稳态运行：

• 多层垂直洁净气流优化系统
摒弃高层厂房传统乱流气流方案，全楼层部署垂直单向层流布局，顶部 FFU 风机过滤单元全覆盖，地面采用格栅回风结构，形成自上而下活塞式洁净气流，有效消解楼层边角涡流死角；各洁净分区建立稳定梯度压差，严格执行人流、物流分离原则，阻断跨区交叉污染风险，适配上万㎡多层高层洁净空间工况。

• ±0.3℃全域精密恒温系统
常规电子洁净车间温控精度仅维持 ±0.5~±1℃，本项目定制专用恒温恒湿机组，搭配每层、每个实验隔间分区独立循环风柜，布设高密度温感采集点位，实现 24 小时在线动态闭环调温；全域温度波动严格控制在 ±0.3℃以内，湿度稳定锁定 45%‑55% RH，规避晶圆热胀冷缩、器件参数漂移，支撑 7×24 小时不间断芯片流片实验。

• 高纯惰性气体特种供给系统
搭建无缝洁净特种供气管道，采用双路备用供气架构，配套管路泄漏实时监测报警模块，完全匹配芯片刻蚀、薄膜沉积实验的特种用气标准，从管路源头降低二次污染风险。

• 全域防静电防护体系
防静电环氧自流平地坪配合完整接地网格布设，实现表面静电电压控制小于 100V，从硬件层面规避 CMOS 精密芯片静电击穿风险。

• 智能化远程洁净运维管控系统
搭建一体化智慧洁净运维平台，电脑端、移动端可远程调取全楼层粒子浓度、温湿度、压差、特种气体压力全部实时参数；异常工况自动推送告警信息，支持分区能耗精细化调节、设备周期性维护提醒，相比传统人工巡检模式，实验室人工运维成本下降 30% 以上。

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4、项目行业价值

本 13200㎡多层高层 AI 芯片洁净实验室项目，有效解决大湾区半导体研发企业单层厂房面积受限的现实痛点。分级洁净、垂直层流、精密温控、特种工艺系统、智慧运维一体化落地，可兼容算力芯片、存储芯片、专用 AI 芯片多品类同步研发测试；EPC 一体化集成模式预留充足后期扩容改造接口，项目具备极强复用性。

项目填补珠三角高层高标准芯片研发洁净实验室落地案例空白，为国内各地半导体产业园高层洁净实验室建设输出可复制的工程范本。

深圳永洁净化深耕洁净工程 19 年，依托 1500 万实缴资本，设计、总包资质齐全筑牢企业根基。公司自持办公、宿舍、仓储全配套场地，固定施工班组常驻在岗，团队专业稳定；企业坚守长期人才培育，持续多年落地员工安居计划与季度福利机制，凭借稳定品质与优质服务，老客户复购率超 95%。深耕食品洁净、医疗医药、PCB/FPC、光电显示、半导体、新材料、新能源等高端领域，拥有众多大型产业园落地经验，致力打造行业典范，为高新企业定制可稳过审、长效耐用的一站式洁净 EPC 总包解决方案。

5、FAQ

Q1：高层厂房建设千级洁净实验室最大工程难点是什么？
A：高层厂房最大痛点为气流紊乱、上下楼层压差失衡，极易出现涡流死角、粒子局部堆积。深圳永洁净化多层垂直单向层流成套方案，配合气流仿真前置优化，可以系统性解决高层洁净度波动问题。

Q2：AI 芯片研发实验室为什么需要 ±0.3℃超高精密温控？
A：芯片流片、探针性能测试属于微米级精密实验，0.5℃以上温差就会造成硅基器件热胀冷缩，晶体管电学参数发生偏移，直接导致研发测试数据失真，因此对温控精度提出极高要求。