在半导体制造与封测流程中，精密的运动控制与纯净的物理环境是保障良率的关键。从前工序（Front-end）的晶圆缺陷检查，到后工序（Back-end）的功率器件测试与芯片分选，制造与测量精度已深入到微米乃至纳米尺度。
 
在这些特定工况下，杂散磁场可能会对运行中的设备造成干扰：在电子束检查设备中，磁场会导致带电粒子偏转，破坏成像与量测精度；在强电流测试工位，传动件自身被磁化会引入电磁噪声，影响信号拾取。控制设备周边的磁场干扰并降低传动部件的磁性影响，成为半导体高端装备设计的硬性要求。
凯特精机无磁滚动直线导轨副，为半导体设备提供高刚性、高精度且抗磁干扰的传动解决方案！
凯特精机无磁滚动直线导轨副的特点
整体采用无磁性材料制造，避免干扰磁场或被磁化，同时兼具耐磨损、耐腐蚀等性能。
 
 
无磁性
导轨、滑块及返向器采用NM合金制造，相对磁导率＜1.01，滚动体采用陶瓷材质，适用于对磁干扰敏感的设备及特定磁场环境。
 
高精度
导轨副可施加合适预紧力，实现高精度导向和顺畅的运行。
 
耐磨损性
NM合金硬度达到40HRC以上，其硬度高于常见的316不锈钢，具有更好的耐磨性能，在同等负载的情况下可提升使用寿命。
 
耐腐蚀性
无磁导轨副具有极其优异的耐腐蚀性，无需表面处理，在有化学药品的腐蚀性环境下也适合使用。
 
助力半导体设备核心部件国产化
在 IGBT 器件测试机、晶圆传输与检查设备的运动模组中，凯特精机无磁滚动直线导轨副可以通过提供低磁干扰、高重复定位精度的导向支持，保障测试机构与搬运过程的稳定性。
该产品对半导体特殊工况的适配能力，展现了凯特精机在精密传动领域的研发实力，也为半导体装备核心零部件的国产化升级提供了切实的解决方案。