气体传感芯片
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- 华中科技大学集成电路学院段国韬教授团队在MEMS气体传感芯片晶圆级制造领域取得新进展
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随着“超越摩尔”范式的演进，微机电系统（MEMS）作为集成多种传感和执行功能的关键技术，已成为下一代智能传感应用核心。然而
2026-01-29 14:59:10
