【ZiDongHua 之“半导体产业链”标注关键词： 九峰山实验室 碳化硅 SiC 仪表 半导体】
 

　　推进半导体核心零部件发展，九峰山实验室集中签约

 
　　12月5日，九峰山实验室与上海先普科技、上海振太仪表、合肥欣奕华、湖南德智新材、海普瑞（常州）五家设备及零部件企业集中签约，合作金额超500万元。此次合作标志着九峰山实验室国产化验证工作，已从设备和材料延伸至更为基础的关键零部件环节。
 
 
　　九峰山实验室致力于推动国产半导体产业链各环节的协同发展与能力提升。相较于整机，核心零部件的验证是保障半导体设备长期稳定与工艺一致性的更深层基础，是当前产业链自主化进程中更具挑战的一环。该环节需要依托现有工艺设备进行分配与集成测试，对方案设计及系统协同能力要求极高，也是迈向自主可控必须突破的环节。九峰山实验室已于2025年年中启动该项工作，并计划在2026年设立专项，投入资源进行系统性攻关。
 
　　当前，半导体产业的发展所需已超越单一设备或材料，更注重以可靠性和生态完整性为核心的系统能力建设。此次合作也表明国内半导体产业自主化进程，正朝着更上游、更精细的产业链环节深入，对构建完整、健康、有韧性的产业生态提出了更为具体的要求。九峰山实验室将承担产业链关键环节的验证与协同重任，持续推动生态体系的完善与提升。
 
　　签约企业介绍
 
　　上海先普科技股份有限公司
 
　　专注半导体行业的气体纯化器和气体过滤器，其二元气体浓度仪已经应用于多家、多台国产三代半导体MOCVD设备中。
 
　　上海振太仪表有限公司
 
　　国内少数具备核心技术与自主知识产权，拥有完整生产线、能够独立研制、生产电容薄膜式真空测量仪表的厂商。
 
　　湖南德智新材料股份有限公司
 
　　作为国家级高新技术企业，专注于半导体用碳化硅涂层石墨耗材、TaC涂层产品的研发与生产，已实现外延组件、长晶TaC组件，Solid SiC蚀刻环、晶舟等系列核心产品的批量交付。
 
　　海普瑞(常州)洁净系统科技有限公司
 
　　集PVDF、PVDF-UHP、PFA-UHP等材质的管材、管件、阀门研发和制造于一体的超纯管路系统专业生产企业，同时也是测量与控制仪表的专业生产企业。
 
　　合肥欣奕华智能机器股份有限公司
 
　　深耕泛半导体高端装备领域的企业，形成真空镀膜、洁净移载和高速高精密三大产品和技术平台。