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  前沿 | 国产精密仪器打破垄断!优可测携亚纳米测量新技术亮相CIOE
 
  在现代工业体系中,测量仪器虽常以 “小而精” 的形态存在,却如同工业生产的 “神经末梢” 与 “决策大脑” 的感知基石,以精密的量值传递能力深度渗透于产业脉络之中。从产品研发阶段的参数验证,到生产环节的工艺控制,再到加工过程的精度校准,这类核心基础设施贯穿于全生命周期的每个节点,成为保障质量可靠性、提升生产效率、驱动技术创新、加速产业升级、优化资源配置及筑牢安全防线的关键支撑。
 
  其应用场景已延伸至国民经济各重点领域。例如,在精密光学领域,用于透镜曲率、镀膜厚度的纳米级测量;半导体制造中,承担晶圆平整度、刻蚀线宽的在线监测;3C产品生产环节,实现屏幕像素间距、壳体公差的微米级把控。此外,精密加工、电子元器件、PCB、材料、刀具、生物医学、新能源、汽车、电机等多领域中,均依赖测量仪器构建起的精准量值体系。
 
  对于正处于由“制造大国”向“制造强国”迈进关键阶段的中国而言,大力发展先进测量技术和高端测量仪器产业,构建强大的国家现代先进测量体系,具有不可替代的战略意义和巨大的经济价值。
 
  板石智能科技(深圳)有限公司成立于2020年,总部位于深圳,国家级专精特新“小巨人”和高新技术企业,专注于为全球客户提供精密测量仪器与半导体检测设备。目前,板石智能旗下优可测品牌产品已广泛应用于半导体、航空航天、 3C电子、5G通讯、新能源、生物医疗等领域,为华为海思、宁德时代、高意、光迅科技、博众精工、中国科学院、奥特斯、深南电路、景旺电子、华天科技等众多知名企业提供稳定可靠的服务。
 
  2025年9月10-12日,优可测将携白光干涉仪AM系列、一键式影像测量仪FM系列、超景深显微镜AH系列、纳米光学膜厚测量仪AF系列、光谱共焦位移传感器AP系列,3D线激光测量仪AR系列、激光位移传感器SL系列、线光谱共焦位移传感器AS系列等全系产品,亮相CIOE精密光学展&摄像头技术及应用展3号馆3A50展位,点击领取参观证件,直达展位交流技术、洽谈业务。
 
  参展产品展示
 
  白光干涉仪AM-8000系列
 
  优可测白光干涉仪AM-8000是一款在应用场景、智能化操作、测量稳定性三大维度上均能全面对标世界顶级品牌的旗舰白光干涉仪。它支持适配更多倍率的镜头,搭载了4自由度直驱电控平台,增加了循环测量、批量导出测量报告、对焦曲线、提取评比ROI等功能,并拥有超过300+的测量工具,如面粗糙度、轮廓分析、纹理方向、粒子分析、纹理均质性等,更好地满足各行业的应用需求。AM-8000搭载了“PreciTrack条纹自动对焦”功能,工程师只要摆放好物体,点击一键对焦,即可在5秒内完成对焦+寻找干涉条纹,效率上是手动对焦操作的7倍。AM8000搭载行业首创的“EquiDrive自动调平”功能,它能在5秒内完成调平,将测量范围内的干涉条纹数量降至1或0,效率是手动调平操作的8倍。AM8000采用了内置式气浮缓冲机构,将整个隔振机构和工作台包裹住,同时通过独创的低重心设计,大幅降低了环境振动对设备的影响。
 
 
  白光干涉仪AM-7000系列
 
  优可测白光干涉仪AM-7000系列是一款基于白光干涉原理的高精度三维形貌测量设备,具备亚纳米级精度和高效检测能力,广泛应用于半导体、新能源、医疗器材、电子电路、光学元件等领域。它拥有亚纳米级测量精度,垂直分辨率高达0.03nm,RMS重复性达0.002nm,可捕捉微观表面形貌的细微变化。
 
  AM7000系列搭配纳米压电陶瓷器件,扫描速度最高达400μm/s,单次检测最快仅需1秒。它搭载了SST+GAT算法(3200Hz高频采样),瞬间完成500万点云采集,实现三维形貌的快速重建与分析。
 
 
  一键式影像测量仪FM系列
 
  优可测一键式影像测量仪FM系列是一款基于高分辨率成像与智能算法的二维尺寸快速测量设备,专为工业质检场景设计,以“一键操作、批量检测、超高效率” 为核心优势,大幅提升生产过程中的尺寸检测效率。
 
  FM系列单次可同时测量100个样品,支持多达1000个尺寸参数的提取,且测量时间不随样本量增加而显著延长。
 
  FM系列搭载2000万像素黑白CMOS相机,结合0.005亚像素级边缘提取算法,实现微米级(±1.5μm)精度,重复精度达±0.4μm。
 
 
  超景深显微镜AH系列
 
  优可测超景深显微镜AH系列是优可测推出的新一代智能显微系统,融合高分辨率成像、智能算法与自动化操作,致力于解决工业质检与科研领域对微观观测的高效、精准需求。
 
  AH系列通过整合超景深成像技术与三维测量功能,单台设备可替代传统体式显微镜、金相显微镜和工具显微镜,显著降低设备采购与维护成本。
 
  AH系列采用自研“STC智能高清算法”,实现多焦面图像快速合成,克服传统显微镜景深不足的局限,支持360°无死角高清观察,真实还原微观结构细节。
 
  纳米光学膜厚测量仪AF系列
 
  优可测薄膜厚度测量仪AF系列是专为纳米至微米级薄膜的精准测量而设计。其核心价值在于突破传统设备的精度与效率瓶颈,为半导体、新能源、精密光学等前沿领域提供关键质检支持。
 
  AF系列薄膜厚度测量仪通过发射多波长光波穿透薄膜,薄膜上下表面的反射光因相位差产生建设性/破坏性干涉,形成特定反射光谱,通过比对实测反射率曲线与理论模型(输入材料光学参数n,k值),利用分波段拟合算法精准解析相位差,反推出膜厚d值。该算法针对紫外波段优化,显著降低偏差,实现0.1nm精度(分辨率达1Å)。
 
  AF系列薄膜厚度测量仪不仅适用于透明/半透明膜层(如光刻胶、PI膜),对超薄金属膜(如3.5nm镍膜)亦可穿透测量。
 
  “以精密测量探索人类未来”为使命,以“成为精密测量引领者”为愿景,板石智能将在精密测量、半导体检测领域不断创新,以产品技术重新定义“中国智造”内涵,为中国仪器崛起贡献板石力量。
 
  优可测将于9月10-12日携众多新产品新技术亮相CIOE精密光学展&摄像头技术及应用展3号馆3A50展位,点击领取参观证件,直达展位交流技术、洽谈业务。